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電子氣氦離子化氣相色譜儀

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電子氣氦離子化氣相色譜儀

電子氣氦離子化氣相色譜儀 GC-9560-EG

GC-9560-EG電子氣氦離子化氣相色譜儀適用于高純氨、四氟化碳、六氟化硫、三氟化氮、硅烷等電子工業用氣體中痕量雜質的檢測,儀器配備高靈敏度的氦離子化(PDHID)檢測器,采用華愛色譜擁有實用新型專利號ZL 2015 2  0246254.1技術中心切割與反吹技術,并配置具有吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣純化器,通過電子氣專用取樣系統取樣或在線進樣方式,一次性完成上述電子氣體中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質或其他特殊雜質的檢測,檢測限達ppb級,重復性RSD≤1%。
      由華愛色譜承擔主要起草任務的國家標準GB/T 28726-2012《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》已經于2013年02月01日起正式公布實施。

一、適用標準:

GB/T 16942-2009《電子工業用氣體 氫》      GB/T 16943-2009《電子工業用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業用氣體 氮》      GB/T 16945-2009《電子工業用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業用氣體 氧》      GB/T 14600-2009《電子工業用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-2009《電子工業用氣體 氨》      GB/T 24469-2009《電子工業用氣體 5N氯化氫》
GB/T 14603-2009《電子工業用氣體 三氟化硼》GB/T 18994-2003《電子工業用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業用氣體 磷化氫》    GB/T 17874-1999《電子工業用氣體 三氯化硼》
GB/T 15909-2009《電子工業用氣體 硅烷》    GB/T 21287-2007《電子工業用氣體 三氟化氮》
GB/T18867-2002《電子工業用氣體 六氟化硫》
二、技術參數:

1、檢測限(ppb):

一般雜質
雜貨種類H2O2ArN2CH4COCO2
510105255


2、溫控指標:

  •  柱    箱:室溫上8℃-400℃   精度±0.1℃

  •  進 樣 器:室溫上8℃-400℃   精度±0.1℃

  •  檢 測 器:室溫上8℃-400℃   精度±0.1℃

  •  溫控數量:八路

  •  程序升溫:八階

  •  升溫速率:1℃~40℃

  •  降溫速度:7分鐘以內(350℃到50℃)

 

3、氦離子化檢測器(PDD):

  •  放電模式:脈沖放電

  •  基線噪聲:≤0.1mv

  •  基線漂移:≤0.5mv/30min

  •  檢測限:≤1.0×10-10g/ml


4、載氣純化器:

  •  可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

  •  大操作壓力:1000Psi

  •  去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等

  •  殘留濃度:≤10ppb


5、工作站性能:

  •  通訊接口:RS232/USB接口  

  •  高精度:24位的高精度A/D

  •  分辨率:±1uv            

  •  輸入電平范圍:-5mv至+1v

  •  采樣頻率:最高20次/秒   

  •  動態范圍:106

  •  積分靈敏度:1μv?sec   

  •  線性度:<±0.1%。< span="">

  •  重現性:0.06%。

 

6、其他參數:尺寸、重量、電源

  •  尺寸:寬655mm×高500mm×深480mm

  •  重量:~48kg

  •  電源:220V±22V,50Hz,功率≥2kW


四、分析譜圖


1、電子工業用氣-氨

 
2、電子工業用氣-四氟化碳


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